各有关单位及专家：
由山东硅元新型材料股份有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、上海微电子装备（集团）股份有限公司、淄博市传统产业发展中心等单位制定的《光刻机用氧化铝陶瓷导轨》团体标准已完成征求意见稿，根据《山东省陶瓷协会团体标准制修订工作程序》，现公开征求意见。
请各有关单位及专家认真审阅标准文本，对标准提出修改建议和意见，于2025年6月11日之前将《意见反馈表》反馈到指定邮箱。逾期未反馈视为无意见。
联系人：崔立明
电话：17615771879；邮箱：1037286709@qq.com
附件：
山东省陶瓷协会
2025年5月12日